电抛光14“立方体或21“x21“x22“不锈钢优化蒸镀腔体

680 l/sec 涡轮分子泵，串接机械泵或干泵

4x 15CC pocket电子枪

电子束源和基片遮板

6KW开关电源，杰出的消弧性能