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NEE-4000 (A) 全自动电子束蒸发系统
参考成交价格:
50~80万元[人民币]
技术特点
【技术特点】-- NEE-4000 (A) 全自动电子束蒸发系统
自动Pocket索引以及可编程的扫描控制器
膜厚监测,可设置目标膜厚作为工艺终点条件
旋转样品台,提供高均匀性
带观察视窗的腔门,便于放片/取片
PC全自动控制,具有高度的可重复性
Labview软件的计算机全自动工艺控制控
多级密码保护的授权访问设计
EMO保护以及完全的安全联锁
【技术特点对用户带来的好处】-- NEE-4000 (A) 全自动电子束蒸发系统
【典型应用举例】-- NEE-4000 (A) 全自动电子束蒸发系统