NRE-4000：基于PC计算机全自动控制的独立式系统，占地面积26“D x 44“W

NRE-3500：基于PC计算机全自动控制的紧凑型独立式系统，占地面积26“D x 26“W

NRE-3000：基于PC计算机全自动控制的台式系统，占地面积26“D x 26“W

NRP-4000：RIE/PECVD双系统

NDR-4000：深RIE刻蚀(深硅刻蚀)系统