【技术特点】-- NIE-4000 (A) 全自动IBE离子束刻蚀

• 离子束中和器

• 氩气MFC

• 步进电机控制晶圆片倾斜

• 自动上下载晶圆片

• 磁控溅射Si3N4以保护被刻蚀金属表面被氧化

• 基于LabView软件的PC计算机全自动控制

• 菜单驱动，4级密码访问保护

• 完整的安全联锁

【技术特点对用户带来的好处】-- NIE-4000 (A) 全自动IBE离子束刻蚀

【典型应用举例】-- NIE-4000 (A) 全自动IBE离子束刻蚀