技术参数

1、靶：Φ50mm

2、真空室：Φ160mm×120mm

3、最高真空度：≤4×10^-2mbar

4、最大电流：50mA（100mA）

5、可设定最长时间：9999s

6、微型真空气阀：连接Φ3mm软管

7、最高电压：1600V  DC

8、机械泵：2L/s