技术参数

1、输入电源：220V AC 50/60Hz

2、功率：200W

3、输出电压：500 VDC

4、溅射电流：0-50 mA可调

5、溅射时间：0-120S可调

6、溅射腔体

1）采用石英腔体，尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H

2）密封：采用不锈钢平法兰的O形密封圈

7、溅射头&样品台

l）溅射头可安装靶材直径为2英寸，厚度0.1 - 2.5mm

      2）溅射时间1-120S可调

3）仪器中安装有直径为50mm的不锈钢样品台，其与溅射头之间距离30-80mm可调。

      4）可选购加热型样品台，其最高加热温度为500℃

      5）安装有一可手动操作的溅射挡板，可进行预溅射

6）最大可制膜的直径为:4英寸（仅供参考，详情请点击）

净重：20>