VTC-16-D小型直流磁控等离子溅射仪技术特点

产品型号

VTC-16-D小型直流磁控等离子溅射仪

主要特点

1、特别为SEM样品镀导电性薄膜设计。

2、体积小巧，操作简单，容易上手。

3、拥有小型磁控靶头，可以镀金银铂等金属。

可选

1、可在本公司选购各种靶材

对于溅射各种金属靶材，需要摸索最理想的溅射参数，下表是本公司实验所设置的参数，欢迎您带料来科晶实验室摸索工艺（仅供参考）

2、可在本公司选购各种真空泵

3、可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上

质量认证

CE认证

质保期

一年保修，终身技术支持。

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

使用提示

l、有时为了达到理想的薄膜厚度，可能需要多次溅射镀膜

2、在溅射镀膜前，确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净

3、要达到薄膜与基底良好结合，请在溅射前清洁基材表面

4、超声波清洗（详细参数点击下面图片）：（1）丙酮超声，（2）异丙醇超声-去除油脂，（3）吹氮气干燥，（4）真空烘箱除去水分。

5、等离子清洗（详细参数点击下面图片）：可表面粗糙化，可激活表面化学键，可祛除额外的污染物。

6、制造一个薄的缓冲层（5纳米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以应用于改善金属和合金的附着力。

7、请使用>5N纯度氩气等离子体溅射

8、溅射镀膜机可以放入Ar或N2气体手套箱中溅射

9、由于能量低，该模型不适用于涂层的轻金属材料如Al，Mg，Zn，Ni。请考虑我们的磁控溅射镀膜机或热蒸发镀膜机。

警告

注意：产品内部安装有高压元件，禁止私自拆装，带电移动机体。

气瓶上应安装减压阀（不包括），保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下，以安全使用。

溅射头连接到高电压。

为了安全，操作者必须在关闭设备前装样和更换靶头。