1、系统采用单室筒式结构,手动前开门; 2、真空室组件及配备零部件全部采用优质不锈钢材料制造(304),氩弧焊接,表面采用喷玻璃丸+电化学抛光钝化处理配有可视观察窗口,并带挡板,真空有效尺寸为Φ300mm×300mm; 3、极限真空度:≤6.67x10-4Pa (经烘烤除气后,采用600L/S分子泵抽气,前级采用4L/S); 系统真空检漏漏率:≤5.0x10-7Pa.l/S; 系统从大气开始抽气到5.0x10-3 Pa,40分钟可达到; 停泵关机12小时后真空度:≤5 Pa; 4、采用样品在下,喷淋头在上的电容式耦合方式进气; 5、样品加热最高加热温度:500℃,温控精度:±1°C,采用控温表进行控温; 6、喷淋头尺寸:Φ90mm,喷淋头与样品之间电极间距40-100mm在线连续可调(可根据工艺调整),并带有标尺指数显示; 7、 沉积工作真空:0.133-133Pa(可根据工艺调整); 8、射频电源:频率 13.56MHz,最大功率500W,全自动匹配; 9、.气体种类(用户提供),使用质量流量控制器控制进气。 10、系统设有尾气处理系统(用户自备)。 |