产品型号

GSL-PECVD-300化学气相沉积

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电：AC380V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氮/氩气（纯度99.99%以上），需自备实验所需气体气瓶（自带?10mm双卡套接头）及减压阀

4、场地：设备尺寸2200×2000mm×1500mm，承重1000kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、所需成膜温度低

2、沉积速率快，应用广泛

3、体积小，操作简便

4、采用射频为增强源易于控制

5、清理安装便捷。

6、一体化触摸屏控制

产品规格

整机尺寸：1200x1500x1500mm；

标准配件

1

电源控制系统

1套

2

真空机组

1套

3

真空测量

1套