可缺陷成像和分析的全自动原子力显微镜

能偶扫描300mm大晶片

提高缺陷检测效率至高达10倍

低噪音原子力轮廓分析可得到更精确的CMP轮廓测量

亚埃米级表面粗糙度测量

针尖对针尖作用力最小化