Park NX-Wafer
可自动进行缺陷检测的低噪声、高通量原子力轮廓仪
Park NX-Wafer是唯一可进行自动缺陷检测的晶片制造原子力显微镜。可以扫描300mm的大晶片,在确保高度的准确性和高质量的前提下,可以提高实验室产率10倍。
精确、高通量原子力轮廓分析
可缺陷成像和分析的全自动原子力显微镜
能偶扫描300mm大晶片
提高缺陷检测效率至高达10倍
低噪音原子力轮廓分析可得到更精确的CMP轮廓测量
亚埃米级表面粗糙度测量
针尖对针尖作用力最小化