技术参数

1、阳极护罩直径：?3.5“

2、所用靶材：直径2“（50.8mm），非磁性靶最大厚度1/4“，磁性靶最大厚度1/16“      

3、磁铁：NdFeB稀土永磁体

4、靶材利用率：30%

5、所需功率：DC最大1000W，RF最大500W

6、溅射电流：最大3A

7、溅射电压：100V-1000V

8、溅射时腔体真空度：5mtorr-100mtorr

9、溅射均匀性曲线：

10、水冷却：水管外径0.25“，流速0.8GPM，进水温度<20℃>