产品型号

2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2

主要特点

1、采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作。

2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均匀分布。

3、磁体表面涂有保护层，以防止冷却水的腐蚀，延长其使用寿命。

4、标准的HN型接头，可与DC和RF电源相匹配。

5、安装采用标准真空接头，便于操作。

6、靶材更换较为简单，无需调整溅射头的高度。

产品规格

可选配件

1、循环水冷机，流量为16L/min，水箱容积为6L。

2、同时购买300W射频发射器和2“磁控溅射头时，本司赠送1个高真空快速接头。接头内径为0.75“，可将溅射

　头安装在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1“，真空腔体的壁厚不得大于1“。