Sonoscan AW系列 C-SAM 超声波扫描显微镜参数指标

AW 系列-AW200 & AW300

精选特色：

与SECS-II/GEM/SEMI300毫米标准兼容

非浸水瀑布式探头

先进的图像分析软件

高精度机器手可达最大产能

用于FOUPs,SMIF Pod,FOSB及开放式晶圆盒的BOLTS标准装载接口

自供水及真空组件的选项