【技术特点】-- Sonoscan AW系列 C-SAM 超声波扫描显微镜

Sonoscan AW系列 C-SAM 超声波扫描显微镜

Sonoscan AW Series C-SAM Operator-Free Wafer Inspection, Analysis and Sorting

AW系列产品是为晶圆检测而设计全自动系统。高灵敏度和高产能的优势可用于多种键合的晶圆的评估，如SOI，MEMS，LED，2.5D和3D。该AW系列可以检测两晶圆间空隙直径只有5微米以及晶圆分层薄至200埃的间隙。具有两个或更多的扫描头，分段站和干燥站时，AW被设计为有效地扫描晶圆并同时进行干燥。

【技术特点对用户带来的好处】-- Sonoscan AW系列 C-SAM 超声波扫描显微镜

【典型应用举例】-- Sonoscan AW系列 C-SAM 超声波扫描显微镜