光谱椭偏仪参数指标

技术参数

1、自动化程度：固定角+ mapping

2、应用定位：检測型

3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S、R等光谱

4、分析光谱：380-1000nm(可扩至193-2500nm)

5、单次测量时间：0.5-5s

6、重复性测量精度：0.01nm

7、光斑大小：大光斑2-3mm,微光斑200um

8、入射角调节方式：固定角

9、入射角范围：65°

10、找焦方式：手动找焦

11、Mapping1程：300x300mm

12、支持样件尺寸：最大至300mm