光谱椭偏仪参数指标

技术参数

1、自动化程度：固定角

2、应用定位：经济型

3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S、R等光谱

4、分析光谱：400-800nm

5、单次测量时间：0.5-5s

6、重复性测量精度：0.05nm

7、光斑大小：大光斑1-3mm

8、入射角调节方式：固定角

9、入射角范围：65°

10、找焦方式：手动找焦

11、Mapping行程：不支持

12、支持样件尺寸：最大至160mm