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快速热化学气相沉积系统(RTCVD)参数指标
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性能和特点:
- 温度范围:室温 ~ 1500°C;
- 升温速度:200°C/s;
- 气体混合能力(带有质量流量计);
- 真空度:~10
-6
Torr;
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