以往的椭偏仪是单点测试,因此要取得整面膜厚均匀性数据是需要N个小时的工作,而且最小的测量分辨率就是激光光斑大小,也就是说,无法取得微小区域的膜厚分布数据。
ME-210是采用独自开发的微小偏光阵列片来克服上述两大问题的设备。
ME-210能做的就是:
能以快速取得最大12inch基板上的膜厚分布
能以高分辨率取得微小区域的膜厚分布(设备最高分辨率为5.5um*5.5um)
设备软件具有模拟功能,因此能比对模拟值与实际值来评估成膜工艺
透明基板的膜厚测量