PECVD沉积

Trion 进口半导体专用检测仪器设备

产品型号： Minilock-Orion III PECVD

品牌：Trion

产品产地：美国

产品类型：进口

原制造商：Trion

状态：在售

厂商指导价格：未提供

英文名称： Minilock-Orion III PECVD

上市时间： 2013-07-10

优点： Minilock-Orion III是一套最先进的等离子增强型化学汽相沉积(PECVD)系统。系统的下电极尺寸可为200mm或300mm，且根据电极配置，可以处理单个基片或带承片盘的基片(3”- 300mm尺寸)，或者多尺寸批处理基片(4x3”; 3x4”; 7x2”)。 Minilock-Orion III用于有毒/发火PECVD工艺。