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| 型号 | RDA-004G |
| 电子束径 | φ90μm |
| 灯丝 | φ0.1mm 发夹式钨灯丝 |
| 控制电极 | 定量偏压 |
| 集束线圈 | 空心型电磁线圈 |
| 偏向线圈 | 环形电磁线圈 |
| 轴向校正 | 灯丝，控制电极 |
| 绝缘电压 | DC30KV |
| 工作压强范围 | < 10-4Pa～10-9Pa |
| 最大烘烤温度 | 200℃ |
| 连接法兰 | ICF70（外径φ2.75英寸） |
| 外形尺寸 | φ100 x 401mm （可加长100mm） |
30KeV 电子枪电源
| 型号 | RDA-004P |
| 加速电压 | 0～30KV 定电压电源（纹波值≤0.03%） |
| 电子束电流 | 0～160μA |
| 灯丝电源 | 0～2V定电压电源2Amax（纹波电压≤0.05%） |
| 灯丝电流 | Max. 2A |
| 偏向线圈电源 | ±1A定电流电源±1V（纹波电压≤0.05%） |
| 集束线圈电源 | ±0～1.5A定电流电源0～22V（纹波电压≤0.05%） |
| 输入电压 | 200V, 220V, 230V, 240V |
| 外形尺寸 | 480mm x 199mm x 500mm（可加长100mm） |
| 安全功能 | 安全闭锁装置 |