RHEED-反射式高能电子衍射仪技术特点

【技术特点】-- RHEED-反射式高能电子衍射仪

仪器简介：

RHEED（反射高能电子衍射仪）是观察晶体生长最重要的实时监测工具之一。它可以通过非常小的掠射角将能量为10～30KeV的单能电子掠射到晶体表面，通过衍射斑点获得薄膜厚度，组分以及晶体生长机制等重要信息。 因此反射高能电子衍射仪已成为MBE、PLD等系统中监测薄膜表面形貌的一种标准化技术。

R-DEC公司生产的反射高能电子衍射仪，以便于操作者使用的人性化设计，稳定性和耐久性以及拥有高亮度的衍射斑点等特点，得到日本本土及其他国家各研究机构的一致好评和认可。

特点：

• 可远程控制调节电压，束流强度，聚焦位置以及光束偏转

• XY轴±5度电子束偏转

• 高效荧光屏拥有高亮度衍射斑点

• 电子枪内表面经特殊处理，能实现极低放气率

• 镍铁高导磁合金磁屏蔽罩（可选）

• 可搭载差动排气系统用于低真空系统（可选）

• 负高压电源安全闭锁功能

• 经久耐用，稳定可靠

• 符合欧盟RoHS指令

• kSA400分析软件（可选）

【技术特点对用户带来的好处】-- RHEED-反射式高能电子衍射仪

【典型应用举例】-- RHEED-反射式高能电子衍射仪