扫描探针光刻系统（SP...
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AFM功能参数

样品/探针接近自动（无需激光对准）
探针调谐自动
悬臂梁激发模式双材料热机械激发
检测原理压阻读数
扫描模式接触式，非接触式
探针移动范围20 mm × 20 mm × 10 mm
精度< 10 nm
重复性± 25 nm
AFM成像范围10 μm × 10 μm × 5 μm 可扩展至 200 μm × 200 μm
本底噪声0.01 nm rms 垂直方向
横向精度99.7% 闭环扫描
扫描速度0.01 线/秒 至 10 线/秒
实时图像显示二维、三维形貌,相位,频移,振幅















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