RTP-1200小型快速退火炉(RTA)参数指标

  - 加热方式：红外卤素钨灯，600W；
  - 卤素红外灯数量：4支；

  - 最快升温速率：100℃/秒；

  - 最快降温速率：50秒(1000℃ → 400℃)；

  - 最高温度：1200℃；

  - 温度精度：+/-0.3℃

  - 最大样品尺寸：20 x 20mm；

  - 退火环境：真空、惰性气体、空气、其他工艺气氛(如氧气、氢气等)；

  - 真空泵及极限压力：机械泵，10-3Torr水平(选配)；

  - 电压：220 V，单相；

  - 仪器尺寸：400*300*450mm (W*D*H)；

  - 质量：净重30Kg；