真空度

到达压力

≤5Pa

成膜性能

膜厚分布

≤± 3% （φ 100mm）

设备构成

设备型号

SAL1000G

成膜方向

下表面

基底尺寸

φ 100mm or 4 inch Max

基底加热器温度

350℃ Max

前驱体数

2

前驱体温度

150℃ Max

净化气体

N2 （气体控制：带流量计针型阀）

手套箱

有机玻璃，真空-氮气吹扫式

真空泵

162L/min 旋片式真空机械泵

重量

本体：50kg，手套箱：35kg，真空泵：27kg

可选配置

基片自动旋转支架

粉体沉积配件

废气处理设备

前驱体加热器- 200℃

安装要求

电源要求

电源

3相、 200V ± 10% 、15A 、50/60Hz

接地

＜100Ω

线缆

5m 附赠

N₂吹扫气体

供给压力

0.1 ~.0.2Mpa

接口

1/4 Swagelok

压缩空气

供给压力

0.6 ~0.8Mpa

接口

φ6mm 接口

真空泵排气口

排气口

KF-25法兰

设备排气口

排气口

φ38mm x   L28软管适配器

安装尺寸

W1000 x D700 x H900