· 真空可移动的手套箱可以处理易氧化的样品。
· 前驱体标配两组阀门和气瓶。
· 可选择将前驱体加热至200摄氏度。
· 可选择基片自动旋转支架。
· 可选择粉体沉积配件。
· 可选择经济实惠的废气处理设备。
· 触摸屏使用户可以轻松设置配方或沉积过程,并检查每个驱动系统的运动。
· 可进行自动沉积,并在沉积完成后自动完成N2排放。
· 手套箱的真空排气和惰性气体的引入也可自动完成。