在线式HIT用PECVD MVS
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在线式HIT用PECVD

In-Line PECVD system for HIT junctions


用于制备高效异质结太阳电池的直线型等离子体化学气相沉积系统



Throughput: 18 wafers (6”)/cycle

产率:18片6吋硅片/循环




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