【技术特点】-- 在线式HIT用PECVD MVS

在线式HIT用PECVD

In-Line PECVD system for HIT junctions

用于制备高效异质结太阳电池的直线型等离子体化学气相沉积系统

Throughput: 18 wafers (6”)/cycle

产率：18片6吋硅片/循环

【技术特点对用户带来的好处】-- 在线式HIT用PECVD MVS

【典型应用举例】-- 在线式HIT用PECVD MVS