Hprobe 晶圆级测试仪
参数指标我要纠错

 

§     最小测量范围 20mV

§     最小量程 1nA

§     > 3,000 读数/秒

§     白噪声 2mV rms

 

数字万用表( DM M )

§     18 位,最小测量范围 100mV

§     分辨率 10nV

§     最小记录时间 1μs

 

任意波形发生器( AW G )

§     双通道,带宽 40MHz

§     正弦波,方波与脉冲高达  30MHz

§     斜率&三角波达 200kHz

 

探针

§     每个通道的任意波形  < 1Msample

§     最大采样率 250Msample/秒

 

脉冲发生器

§     最小脉冲宽度 300 ps

§     脉宽精度 10 ps

§     上升/下降时间 < 70 ps

(20%-80%)

§     输出幅度 10 mVpp~5 Vpp

§     最大重复率 500 MHz/每通 道

§     触发到输出晃动 < 35ps

 

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