Hprobe 晶圆级测试仪技术特点

【技术特点】-- Hprobe 晶圆级测试仪

§ 大范围面内和垂直场

§ 磁场三维可控

§ 旋转磁场

§ 嵌入式传感器校准 ( Hall 传感器 )

§ 自动化测试程序

§ MRAM 参数提取软件

§ 100mm~300mm 晶圆可测

§ 兼容标准探针卡

Hprobe 测试仪是磁场下晶圆级表征及测试的首选工具。它采用zl的3D磁场发生器和最先进的、可定

制的、商业化硬件，为传感器到MRAM等磁性器件，提供完整的测试解决方案，该工具符合晶圆自动化 测试的标准。

【技术特点对用户带来的好处】-- Hprobe 晶圆级测试仪

【典型应用举例】-- Hprobe 晶圆级测试仪