规格:
型号 | PR200 | PR301 | |
方式 | DP模式、圆柱形腔体 | ||
性能 | 发生器功率: | 0-200W | 0-300W |
发生器频率: | 射频RF13.56Mhz | ||
发生器匹配方式: | 自动匹配(Auto matching) | 手动匹配(manul)
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构成 | 腔体材质: | 高硼硅玻璃 | |
腔体内尺寸: | φ100×L160mm | φ118×L160mm | |
反应气体: | 一路工艺气体,可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体。 | ||
控制方式: | 半自动控制 | ||
真空度显示: | 数字式皮拉尼传感器,实时显示腔体内真空度。 | 模拟式压力表 | |
配管材质: | SUS不锈钢以及特氟龙 | ||
门: | 铰链门 | ||
外形尺寸: | W350×D400×H500mm | W438×D520×H630mm | |
真空泵抽速: | 4m3/hour | ||
电源规格: | AC220V 10A | ||
重量: | 约25kg | 约34kg | |
附属品 | 真空管件一套、真空转接接头一套、试料托盘一枚。 |