■ 操作性·功能
● 射频13.56Mhz 0-200W高功率机型,发生器自动匹配,无需调节反射波,进一步增加的操作的便捷性。
● 标准配备数字式皮拉尼传感器,实时显示真空度,使得控制更为精确。
● 高硼硅玻璃腔体非常适合于实验室处理比较纯净的精元、硅片等样品,无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。
■ 安全性·保护
● 装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯,可实时监测和了解机器的运转状态。
● 装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。
■ 产品优势
●等离子清洗机清洗效果好,清洗过程中无废液产生,安全环保。
●几乎所有的材质样品都可以进行等离子清洗。
●等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。
●高效的特制电极,保证等离子体能够均匀产生。