等离子模式

DP模式，桶形

高频输出功率

Max500W

频率

13.56MHz

同调方式

自动协调

反应腔

石英Φ215×305mm

反应气体

2系统（O₂／CF₄）

控制

手动

触模屏自动控制

配管材质

不锈钢、特氟龙

外形尺寸

W438 x D520 x H760mm

参照规格书

重量

约60kg

参照规格书

电源

单相AC100V 9A

三相AC200V 8A