【技术特点】-- YAMATO等离子清洗机PR500

低温等离子·经典桶型。

PR500：手动控制 PR510：自动触摸屏控制

内槽

硅晶圆灰化状态

低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能

及触摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款

小型紧凑型的等离子处理设备。

● 去除光刻胶

● 部品清洗

● 界面活性处理

● 微研磨

● 硅晶圆，玻璃基板对应

用途

● 大口径（Φ215mm）石英反应腔

● 小型一体化设计

【技术特点对用户带来的好处】-- YAMATO等离子清洗机PR500

【典型应用举例】-- YAMATO等离子清洗机PR500