耐驰热反射法薄膜导热系数测量仪_ 参数_指标_优点_优势_分析测试百科网

参数指标

技术参数	NanoTR	PicoTR
温度范围	RT，RT … 300°C（选件）	RT，RT … 500°C（选件）
真空度	N/A	10^-6 mbar（选件）
测量模式	RF/FF	RF/FF
样品尺寸	10x10 ... 20x20 mm	10x10 ... 20x20 mm
薄膜厚度	RF：金属：1 ... 20µm 陶瓷：300nm ... 5µm 聚合物：30nm ... 2µm FF：> 1µm	RF：金属：100nm ... 900nm 陶瓷：10nm ... 300nm 聚合物：10nm ... 100nm FF：> 100nm
基片厚度	< 1mm	< 1mm
热扩散温升时间	10ns ... 10µs	10ps ... 10ns
热扩散系数	0.01…1000 mm²/s	0.01…1000 mm²/s
测量精度	5%(RF), 10%(FF)	5%(RF), 10%(FF)
操作系统	Windows 7	Windows 7