耐驰 热反射法薄膜导热系数测量仪技术特点

【技术特点】-- 耐驰 热反射法薄膜导热系数测量仪

测量原理

热反射（Thermo-Reflectance）方法基于超高速激光闪射系统，可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数，如热扩散系数（Thermal Diffusivity）、热导率（Thermal Conductivity）、吸热 系数（Thermal Effusivity）和界面热阻。

由于激光闪射时间仅为纳秒（ns）量级，甚至可达到皮秒（ps）量级，此系统可测量厚度低至10nm的薄膜。同时，系统提供不同的测量模式，以适应于不同的基片情况（透明/不透明）。

该方法符合国际标准：
JIS R 1689：通过脉冲激光热反射方法测量精细陶瓷薄膜的热扩散系数；
JIS R 1690：陶瓷薄膜和金属薄膜界面热阻的测量方法。

发展简史 1990 年，日本产业技术综合研究所/日本国家计量院（AIST/NMIJ）发明热反射法，测量薄膜导热性能。 2008 年，AIST 设立 PicoTherm 公司。 2010 年，PicoTherm 公司推出纳秒级热反射系统 NanoTR。 2012 年，PicoTherm 公司推出皮秒级热反射系统 PicoTR。 2014 年，PicoTherm 公司和 NETZSCH 公司建立战略合作。NETZSCH 将负责 PicoTherm 产品在全球的销售和服务。

测量模式

RF 测量模式		FF 测量模式
主激光源从反面加热薄膜，检测激光从正面测量薄膜的温度升高过程，从而计算薄膜的导热性能参数。此模式适用于透明基片。		主激光源从正面加热薄膜，检测激光从正面测量薄膜的温度下降过程，从而计算薄膜的导热性能参数。此模式适用于不透明基片。

【技术特点对用户带来的好处】-- 耐驰 热反射法薄膜导热系数测量仪

【典型应用举例】-- 耐驰 热反射法薄膜导热系数测量仪