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大塚电子显微分光膜厚仪OPTM
大塚电子
进口 白光干涉测厚仪
参考成交价格:
5000~10000元[人民币]
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参数
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产品参数:
OPTM-A1
OPTM-A2
OPTM-A3
波長範圍
230 ~ 800 nm
360 ~ 1100 nm
900 ~ 1600 nm
膜厚範圍
1nm ~ 35μm
7nm ~ 49μm
16nm ~ 92μm
測定時間
1秒 / 1點
光徑大小
10μm (最小約5μm)
感光元件
CCD
InGaAs
光源規格
氘燈+鹵素燈
鹵素燈
電源規格
AC100V±10V 750VA(自動樣品台規格)
尺寸
555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動樣品台規格之主體部分)
重量
約 55kg(自動樣品台規格之主體部分)
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