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单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193参数指标

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单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193

IXION-193是单频二极管泵浦全固态激光器。用于光学计量、高功率ArF准分子激光器的带宽控制和193nm波长的步进校准。光谱带宽接近理论傅立叶变换极限。中心波长以0.01nm的精确度从190nm到194nm范围可选。系统可选内置高精度光谱仪，精确度可达1pm以保证对激光器调谐的最大控制。

 

单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193典型参数

型    号

IXION-193 SLM

波    长

193.368 nm

平均功率

>10 mW

脉    宽

< 10 ns

脉冲能量

>1.6 μJ

重复频率

6 kHz

M2  因子

< 1.6

线    宽

<120MHz;0.015pm; 0.004cm-1

调谐范围

>80GHz; 10pm;2.6cm-1

相干长度

>1 m

 

单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193特点

· 工业级的频率转换，密封封装 
· 插槽安装激光二极管泵浦
· 优异的TEM00光束形貌
· 脉冲到脉冲之间波动小
· 免维护与热电温控管理
· LabVIEW驱动
· 内置光谱仪用于波长实时控制

单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193应用    
                                               
· 193 nm波长计量 
· 光谱仪校准                                                 
· 干涉测量
· 准分子激光器的种子注入

脉冲宽度



光谱带宽


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