单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193技术特点

【技术特点】-- 单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193

单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193

IXION-193是单频二极管泵浦全固态激光器。用于光学计量、高功率ArF准分子激光器的带宽控制和193nm波长的步进校准。光谱带宽接近理论傅立叶变换极限。中心波长以0.01nm的精确度从190nm到194nm范围可选。系统可选内置高精度光谱仪，精确度可达1pm以保证对激光器调谐的最大控制。

单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193典型参数

型 号	IXION-193 SLM
波 长	193.368 nm
平均功率	>10 mW
脉 宽	< 10 ns
脉冲能量	>1.6 μJ
重复频率	6 kHz
M2 因子	< 1.6
线 宽	<120MHz;0.015pm; 0.004cm-1
调谐范围	>80GHz; 10pm;2.6cm-1
相干长度	>1 m

单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193特点

· 工业级的频率转换，密封封装
· 插槽安装激光二极管泵浦
· 优异的TEM₀₀光束形貌
· 脉冲到脉冲之间波动小
· 免维护与热电温控管理
· LabVIEW驱动
· 内置光谱仪用于波长实时控制

单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193应用

· 193 nm波长计量
· 光谱仪校准
· 干涉测量
· 准分子激光器的种子注入

脉冲宽度



光谱带宽

【技术特点对用户带来的好处】-- 单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193

【典型应用举例】-- 单纵模紫外纳秒固体激光器IXION-193