亚微米精度超紧凑电控平移台参数指标

高精度电动平移台

电控位移台也称为电控平移台是一种依靠步进电机驱动的执行装置，通过丝杠将步进电机的角位移转换为平台位移。通常情况下该系统由三部分组成：位移台、电机和控制器。驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩、分辨率、加减速度、信号处理等性能参数。位移台则是系统的心脏，主要指标参数有位移精度、行程、负载、稳定性、适用环境等。

昊量光电推出的超紧凑电动平移台装配交叉滚子导轨，使其在紧凑的体积下拥有较高的刚度和精度。该系列电动位移台可提供6-32mm不同的行程范围。传动装置采用拥有间隙补偿不可逆的滚珠丝杠装置。驱动采用步进电机可以提供大的扭矩和速度。采用光栅尺闭环控制，在提供大行程的同时拥有较高的精度。

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