亚微米精度超紧凑电控平移台技术特点

【技术特点】-- 亚微米精度超紧凑电控平移台

高精度电动平移台

电控位移台也称为电控平移台是一种依靠步进电机驱动的执行装置，通过丝杠将步进电机的角位移转换为平台位移。通常情况下该系统由三部分组成：位移台、电机和控制器。驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩、分辨率、加减速度、信号处理等性能参数。位移台则是系统的心脏，主要指标参数有位移精度、行程、负载、稳定性、适用环境等。

昊量光电推出的超紧凑电动平移台装配交叉滚子导轨，使其在紧凑的体积下拥有较高的刚度和精度。该系列电动位移台可提供6-32mm不同的行程范围。传动装置采用拥有间隙补偿不可逆的滚珠丝杠装置。驱动采用步进电机可以提供大的扭矩和速度。采用光栅尺闭环控制，在提供大行程的同时拥有较高的精度。

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该系类平移台提供6mm、16mm和32mm三种不同行程的位移平台，并可根据不同的要求提供真空下工作的平移台，最高真空度可达10^-8mbar.

• 主要特点

l 高分辨率

l 高重复定位精度

l 采用滚珠丝杠，实现高精度定位

l 采用高等级交叉滚珠导轨，具有超高运动性能

u 主要应用

超精密激光加工、超精密三维扫描测量、全自动计量仪器检测设备、工业自动化等领域。

主要参数：

Characteristics	Specifications
Travel	6mm	16mm	32mm
Theoretical resolution	200nm/step	1.56 mm/ step
Unidirectional repeatability	3 mm
Max Velocity	0.2mm/s	1.5mm/s	1.5mm/s
Load capacity	1 Kg
Size	48′18′13 mm	40′40′17 mm	80′40′25 mm
Material		Aluminum
Variant and option	High or Ultra-high vacuum preparation
Absolute encoder on motor side

【技术特点对用户带来的好处】-- 亚微米精度超紧凑电控平移台

【典型应用举例】-- 亚微米精度超紧凑电控平移台