类号 |
CS310C |
CS320C |
阀类型 |
Normally Closed or Normally Open |
No Valve |
Normally Closed or Normally Open |
No Valve |
流量规格(N2) |
(0~1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30) SLM |
准确度 |
±1% S.P. (≥35% F.S.)±0.35% F.S. (<35% F.S.) |
±0.80% S.P. (≥30% F.S.)±0.24% F.S. (<30% F.S.) |
线性 |
±0.5% F.S. |
重复精度 |
±0.2% F.S. |
响应时间 |
≤ 0.8sec (≤ 0.5sec optional) |
工作压差范围 |
(0.05~0.35)Mpa(≤10SLM)(0.1~0.35)MPa (>10SLM) |
<0.02 MPa |
(0.05~0.35)Mpa(≤10SLM)(0.1~0.35)MPa (>10SLM) |
<0.02 MPa |
温度系数 |
Zero: ≤±0.02% F.S./℃; Span: ≤±0.05% F.S./℃ |
耐压 |
3MPa |
漏率 |
1×10-11 Pa·m3 / sec He |
密封材料 |
Metal |
工作环境温度 |
(0~50)℃ |
输入信号 |
Digital:RS485 Or DeviceNetAnalog:(0~5)VDC |
No |
Digital:RS485 Or DeviceNetAnalog:(0~5)VDC |
No |
输出信号 |
Digital:RS485 Or DeviceNetAnalog:(0~5)VDC |
零漂 |
<0.6%F.S. per year without autozero |
电源 |
±11~±16 VDC (双极) 或 +11~+28 VDC (单极) |
表面化学成分 |
Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20 Angstroms |
表面粗糙度 |
Ra 5μinch |
标准接头形式 |
VCR1/4阳接头;1.125″C型密封接头1.125″W型密封接头 |
1.5″B型密封接头1.5″C型密封接头1.5″W型密封接头 |
电源接头形式 |
D sub 9 pins male,D sub 15 pins male,DeviceNet male |
重量 |
1 Kg |
0.8Kg |
1.2Kg |
1Kg |