1. 与气体接触的零件表面经过电化学抛光处理,粗糙度达到Ra 5μinch。
2. 与气体接触的零件表面化学成分:Cr/Fe比例≥2.0;CrO 厚度≥20 (埃)。
3. 具有压力补偿功能。
4. 支持1.125,1.5英寸W,C,B型IGS气路系统