Gatan 695.C/PIPS II 系统离子减薄仪 参数指标

仪器介绍：

名称：离子减薄仪

品牌：美国Gatan

型号：695

技术参数：

离子源
离子枪 两个潘宁离子枪与微型稀土永磁体
减薄角度 +10° 到 -10°，每个离子枪均独立可调节
离子束能量 100eV 到6.0 KeV
光束直径 5keV 下350μm FWHM - 宽离子枪5keV 下800μm FWHM
离子电流密度 最大 10mA/cm2
离子束调制 通过荧光屏精密调整离子束
离子束尺寸 通过气体控制调整
真空
干燥泵系统 两个部分，隔膜机械泵搭配一个70 升/秒涡轮分子泵
压力 5E-6 Torr（6.6E-4Pa）基本压力
8E-5 Torr（10.7E-3Pa）工作压力
真空计 样品室冷阴极标尺，搭配固态压力传感器
样品调换 Gatanzl WhisperlokTM，样品更换时间＜1分钟
样品的Airlock <30 秒
功率
能量消耗 运行时需200W，离子枪关闭时需100W
电源要求 通用电压 100VAC-240VAC，50/60Hz（用户需确定电压和频率）
气体 氩气 25psi （1.42 bar,0.18 MPa）