普发真空A4 / ADH系列多级罗茨干泵参数指标

智能

A4系列配备了新的精密监测系统，包括新的功能，以改善故障的发生，并防止在过程操作过程中产生晶片碎片。

维修费用低

通过改进粒子耐受性，腐蚀和冷凝阻力，可以延长维修间隔和泵的寿命，这意味着额外的操作成本降低了。不需要现场例行维护。

客户受益

■ 高能源效率得益于多阶段的技术，高效的马达和有限的电加热器

■ 广泛的操作温度范围保护泵不受前体破裂或凝缩沉积作用的阻碍

■ 延长寿命的耐腐蚀材料

■ 高平均无故障时间和低拥有成本 

■ 高粒子宽容增加正常运行时间的工具 

■ 扩展的监视功能可以更好地控制泵的状况 

■ Semi S2和UL兼容