【技术特点】-- 普发真空A4 / ADH系列多级罗茨干泵

A4 series

节能干燥多级罗茨泵，适用于所有半导体和涂层应用。

新一代苛刻的工艺流程泵

普发真空引入了新的A4系列。半导体生产中苛刻的工作流程总是给真空泵带来新的挑战。基于已证明和节能的多阶段根系技术，A4系列提供了一系列的干泵解决方案，不同的泵送速度从100到2300 m3/h。与以往的工艺泵相比，为了满足20纳米技术节点和以下的最新要求，腐蚀和副产物的冷凝性能得到了显著的提高。在延长的工艺寿命与低能耗相关联的情况下，A4系列泵是在市场中成本最低的。

为多个应用程序提供完整的解决方案

我们的新A4系列包括两款产品线，它们完全与前系列产品的泵完全兼容。我们提供了三种用于非关键应用程序的泵模型和十种不同的模型供您选择，用于在关键应用程序中进行最严酷的处理。

延长工作温度范围

泵配备有扩展温度管理装置，其覆盖低至高的操作温度，以防止泵内的副产物沉积或破裂。与高温精密轴承相关，提高了工艺的可靠性。

高耐蚀性

使用耐腐蚀材料，我们的A4X系列泵的寿命大幅度地提高了——在某些工艺过程中高达2倍。这使得这些干泵成为了化学汽相淀积和腐蚀处理的最佳选择。

CVD应用最有效的解决方案

由于采用了多级罗茨泵技术和高效率发动机，在工艺操作中，A4系列的功耗是其同类产品中最低的一个。结合了闲置模式的能力和用户友好的转速调整，这些干泵的使用支持最优的降低运营成本。

【技术特点对用户带来的好处】-- 普发真空A4 / ADH系列多级罗茨干泵

【典型应用举例】-- 普发真空A4 / ADH系列多级罗茨干泵