实验室现有大型设备15台，其中包括超高真空电子束蒸发系统(Riber SSC)，硅分子束外延系统(Riber Eva-32)，角分辨电子能谱仪(VG ADES-400)，多功能电子能谱仪(VG ESCALAB-5)，激光喇曼谱仪(Jobin Yvon U1000)，超高真空STM/AFM(Omicron Multiprobe)等大型进口设备，并有若干国产分子束外延装置可用于进行III-V族、II-VI族和铁磁超薄膜材料的生长，以及光荧光谱仪，综合电学测试仪和部分工艺设备。