电子衍射是二维衍射和 XRD 是一维衍射，电子衍射和XRD的基本原理和衍射花样的几何特征相似，而且都遵循劳厄方程或布拉格方程。两者区别包括：
(1) 电子波的波长短，则受物质散射强（原子对电子的散射能比 X 射线强一万倍）；
(2) 电子衍射强度大，要考虑它们之间的相互作用，使电子衍射花样分析，特别是强度分析变得复杂，不能像 X射线一样从测量强度来广泛地测定晶体结构；
(3) 由于电子衍射强度高导致电子穿透能力有限，因此较使用于研究微晶、表面和薄膜晶体；
(4) 当晶粒大小只有几微米，甚至几千埃的时候，不建议用 XRD 。
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