场发射扫描电子显微镜大致包括以下几个部分：
电子源：也称电子枪，产生连续不断的稳定的电子流。普通扫描电镜的电子枪由阴极（灯丝）、栅极和阳极组成。阴极采用能加热的钨丝，栅极围在阴极周围。被加热了的钨丝释放出电子，并在阳极和阴极之间施加高压，形成加速电场，从而使电子得到能量——高速飞向（在高真空镜筒中）样品。而场发射电子枪与普通钨丝电子枪有所不同，阴极呈杆状，在它的一端有个极锋利的尖点（直径小于100nm）,尖端的电场极强，电子直接依靠“隧道”穿过势垒离开阴极，由加速电压加速产生高速电子流飞向样品。一般来说，扫描电镜加速电压通常为1——30kV。
电子透镜：将从电子枪发射出来的电子会聚成直径最小为1——5nm电子束。
扫描系统：使电子束作光栅扫描运动。
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