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TEM分析中电子衍射花样的标定原理: 菊池花样

2018.6.30
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JMCA

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在稍厚的薄膜试样中观察电子衍射时,经常会发现在衍射谱的背景衬度上分布着黑白成对的线条。这时,如果旋转试样,衍射斑的亮度虽然会有所变化,但它们的位置基本上不会改变。但是,上述成对的线条却会随样品的转动迅速移动。这样的衍射线条称为菊池线,带有菊池线的衍射花样称之为菊池衍射谱。

菊池花样在晶体材料分析方面,广泛用于物相鉴定、衬度分析、电子束波长以及临界电压的测定等。它更重要的一个应用是用来精确测定晶体取向,用菊池线来测定晶体的取向时,其精度可以达到 0.01°, 是精确测定晶体取向、位向关系和迹线分析的理想方法。

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菊池线的形成示意图一

电子束在穿透较厚的试样时,入射电子与试样之间会发生相互作用,其中有部分电子会发生非弹性散射。但是非弹性散射之后,它们的能量损失也只有几十电子伏特,相对透射电镜几十万伏的加速电压来说, 这个能量是非常小的, 因此可以认为非弹性散射以后,电子波的波长基本没有变化。因此当这一部分电子波在满足布拉格条件产生衍射时,其几何关系与弹性散射电子可以认为没有差别。

非弹性散射电子进入晶体以后,向各个方向散射的几率并不相等,沿透射束方向的散射几率最大,随散射角增大,其散射的几率减小,非弹性散射引起的强度相应地会逐渐降低,这样就形成了衍射照片上中间亮四周渐暗的衍射谱背景(这个背景是由非弹性散射电子形成的,如示意图一所示)。

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菊池线的形成示意图二


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